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          產品詳情
          • 產品名稱:Symetrie Nanopos 6-D Hexapod

          • 產品型號:
          • 產品廠商:Symetrie
          • 產品價格:0
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          • 產品文檔:
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          簡單介紹:
          NANOPOS六軸并聯定位臺 Nanometer resolution miniature hexapod
          詳情介紹:



          • 水平運動分辨率10nm
          • 角度運動分辨率1μrad
          • 負載達500g
          • 中間位置高度68mm

          • 主要參數


          NanoPos
          運動及定位
          行程Tx,Ty(mm) ±5
          行程Tz(mm) ±4
          行程Rx,Ry(deg) ±7
          行程Rz(deg) ±10
          分辨率Tx,Ty(nm) 10
          分辨率Tz(nm) 10
          分辨率Rx,Ry(μrad) 1
          分辨率Rz(μrad) 1
          重復精度Tx,Ty(nm) ±75
          重復精度Tz(nm) ±75
          重復精度Rx,Ry(μrad) ±2
          重復精度Rz(μrad) ±2
          機械特性
          負載(kg)(垂直方向/水平方向) 0.5
          電機類型 陶瓷電機
          NanoPos
          其它特性
          工作溫度(℃) +5~+40
          材料 鋁,銦鋼,陶瓷,不銹鋼
          運動臺面(mm) Φ70
          中孔(mm) Φ32
          中間位置高度(mm) 68
          質量(kg) 505
          線長(m) 1.2
          可選項 用戶可以定制平臺面;更大行程;真空兼容;無磁應用;尺寸可擴展
          控制器
          控制類型 CAPELLA
          接口 Ethernet,USB,串口(RS-232)
          輸出功率 110-240 VAC/ 50-60Hz

          尺寸圖

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